應(yīng)用領(lǐng)域
本設(shè)備主要用于超精密電子元件的平面尺寸、高度、深度、形位公差尺寸測(cè)量，采用3D線掃激光傳感器對(duì)平面度進(jìn)行掃描測(cè)量，可對(duì)復(fù)雜表面重建基準(zhǔn)面求差，搭配CCD視覺定位，采用高分辯率相機(jī)+環(huán)形表面光+同軸光；

優(yōu)勢(shì)

*   可搭載多品牌激光3D線掃傳感器，可選配激光共焦傳感器，對(duì)特殊表面進(jìn)行高度采集；
*   激光3D掃描采集參數(shù)根據(jù)特定產(chǎn)品最優(yōu)化參數(shù)，自研濾噪算法，經(jīng)過行業(yè)多種產(chǎn)品驗(yàn)證；
*   行業(yè)首創(chuàng)，XY二維插補(bǔ)掃描，補(bǔ)正放料角度與掃描軸不平行引起的誤差；
*   平面區(qū)域分段補(bǔ)償功能，減小軸直線度誤差影響；
*   高精度運(yùn)動(dòng)部件＋全局標(biāo)定補(bǔ)償，XYZ重復(fù)精度0.005mm

主要參數(shù)

1、檢測(cè)功能：測(cè)量深度、元件臺(tái)階、平面度、位置度等

2、檢測(cè)效率：根據(jù)產(chǎn)品表面確定（3維）

3、分辯率：2 um

4、工作臺(tái)尺寸： 500 x 400 mm  可支持雙平面定制

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